水冷真空测试平台（真空腔）
型号：Φ800×800 水冷真空腔
产品简介
水冷真空测试平台（真空腔系统）：以水冷真空室（内径 Φ800×800mm）为核心，极限真空 4×10⁻⁴Pa，配置快开门、Φ350mm 红外石英观察窗、旋转基片架、JTFB-1300Z 分子泵（1300L/s）+ DRV30 机械泵、真空计与热电偶测温，触摸屏程控 + 冷水机 + 可移动台架，适用于高功率激光损伤测试（LIDT）真空样品环境与真空镀膜。产品描述
【产品概述】
水冷真空测试平台（真空腔系统）是为高功率激光损伤测试、真空镀膜及真空环境光学实验设计的一体化真空装置。系统以水冷真空室（内径 Φ800×800mm）为核心，配置快开门、Φ350mm 红外石英玻璃观察窗、基片架、真空计、水冷脂润滑分子泵（1300L/s）与机械泵，极限真空可达 4×10⁻⁴Pa；配合触摸屏程序控制系统、冷水机与可移动台架，实现真空环境的稳定建立与精确控制。腔内配置热电偶监测样品温度，快开门配挡光板，满足激光损伤阈值（LIDT）测试等应用对洁净真空环境的要求。
【产品特点】
- 高极限真空：4×10⁻⁴Pa，满足 LIDT 测试与真空镀膜需求；
- 大容积水冷真空室：内径 Φ800×800mm，水冷保护，温控稳定；
- 红外石英观察窗：Φ350mm 主观察窗（另备 1 块备用），Φ100mm 辅助观察窗×2；
- 灵活基片架：Φ300mm 1 片 / Φ100mm 2 片 / Φ60mm 5 片，可旋转 360°；
- 高抽速配置：JTFB-1300Z 复合分子泵（1300L/s）+ DRV30 机械泵；
- 精确监控：真空计 + 腔内热电偶测温，样品附近温度实时监测；
- 安全设计：快开门配挡光板，高真空气动挡板阀 + 电动充气阀程控；
- 一体化集成：触摸屏程序控制、冷水机、无油静音空压机、可移动台架（高度可调 50mm）。
【典型应用】
- 高功率激光损伤阈值（LIDT）测试真空样品环境
- 真空镀膜与薄膜制备
- 真空环境光学实验与样品辐照
- 材料真空老化与性能测试
【联系方式】
17317958112
技术参数
| 产品名称 | 水冷真空测试平台（真空腔系统） |
| 极限真空 | 4×10⁻⁴Pa |
| 真空室内尺寸 | 内径 Φ800×800mm（带水冷保护） |
| 快开门 | 1 个（配置挡光板） |
| 观察窗 | Φ350mm 红外石英玻璃观察窗 1 个（另备 1 块备用）+ Φ100mm 观察窗 2 个 |
| 基片架 | Φ300mm 1 片 / Φ100mm 2 片 / Φ60mm 5 片；可旋转 360° |
| 分子泵 | JTFB-1300Z 复合分子泵，抽速 1300L/S，水冷脂润滑 |
| 机械泵 | DRV30 旋片泵，抽速 30m³/h，KF40 接口 |
| 真空测量 | 真空计（成都睿宝）+ 腔内热电偶测温 |
| 控制系统 | 触摸屏（昆仑通泰）+ 程序控制系统（含高真空气动挡板阀、电动充气阀） |
| 辅助配置 | 冷水机、无油静音空压机、可移动台架（高度可调 50mm） |
技术数据
水冷真空测试平台 主要参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 极限真空 | 4×10⁻⁴Pa |
| 真空室内尺寸 | 内径 Φ800×800mm（带水冷保护） |
| 快开门 | 1 个（配置挡光板） |
| 观察窗 | Φ350mm 红外石英玻璃观察窗 1 个（另备 1 块备用）；Φ100mm 观察窗 2 个 |
| 基片架 | Φ300mm 1 片 / Φ100mm 2 片 / Φ60mm 5 片；可旋转 360° |
| 真空计 | 成都睿宝（真空测量） |
| 温度监控 | 真空腔内配置热电偶，检查样品附近温度 |
分子泵 JTFB-1300Z（久泰真空）参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 抽气速率 | 1300L/s |
| 压缩比（N₂ / H₂） | ＞10⁹ / ＞1×10⁴ |
| 极限压强 | ＜5×10⁻⁷Pa |
| 电机转数 | 24000rpm |
| 振动值 | ≤0.1μm |
| 启动时间 | ＜5min |
| 冷却方式 | 水冷（冷却水温度 ≤20℃） |
机械泵 DRV30（Baosi）参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 抽气速率 | 30m³/h（约 8L/s） |
| 极限压力 | ＜5×10⁻¹Pa |
| 电机功率 | 1.1kW（三相 380V） |
| 进气/出气接口 | KF40 |
| 重量 | 63kg |
水冷真空测试平台结构组成（快开门开启状态：基片架、观察窗、红外石英观察窗、分子泵、触摸屏、真空计、台架）
辅助配置：冷水机、无油静音空压机、台架（带地脚轮可推动，高度可调 50mm）