石英工程散射片（GDF 系列）
型号：GDF-C0.5；GDF-C1.0 等
产品简介
石英工程散射片（GDF 系列）采用熔融石英刻蚀工艺制成，折射型带限散射片，圆形平顶光斑输出，发散角可选 0.5°~20°，工作波段 193–2000nm（覆盖深紫外），透过效率 90%，材料为 Corning 7980 HPFS，直径 25.4mm。适用于准分子激光匀光、DUV 光场整形、照明均匀化等场景。产品描述
【产品概述】
石英工程散射片（GDF 系列）是采用熔融石英表面刻蚀微结构工艺制成的折射型带限散射片（Etched Fused Silica Engineered Diffusers）。它将入射光束转换为均匀的圆形平顶（Flat Top）强度分布，发散角受控（0.5°~20° FWHM 可选），工作波段覆盖 193–2000nm（含深紫外），透过效率高达 90%（无镀膜），是深紫外激光匀光与照明整形的高性能方案。
【主要特点】
- 折射型带限散射，圆形平顶输出（平坦因子 ≥ 0.70）
- 发散角可选：0.5°、1.0°、5.0°、10.0°、20.0°（FWHM）
- 工作波段 193–2000nm，覆盖 ArF 准分子激光深紫外
- 效率 90%（无镀膜），材料 Corning 7980 HPFS 高纯熔融石英
- 直径 25.4mm、厚度 1.0mm，有效孔径中心 23.4mm
- 远场测量符合 ISO 13694:2000 标准
【技术参数（以 GDF-C0.5 为例）】
| 光学性能 | 数值 | 机械性能 | 数值 |
|---|---|---|---|
| 散射片类型 | 折射型，带限 | 材质 | Corning 7980 HPFS |
| 散射图案 | 圆形，平顶 | 直径（E） | 25.4 ± 0.1 mm |
| 平坦因子（A） | ≥ 0.70 | 厚度（F） | 1.0 ± 0.1 mm |
| 发散角（B） | 0.50° ± 0.05° FWHM | 安装 | 未安装 |
| 工作波段 | 193 – 2000 nm | 有效孔径（D） | 中心 23.4 mm |
| 折射率 | 1.457 @ 633 nm | 特征尺寸（C） | 100 μm |
| 效率 | 90%（无镀膜） | 镀膜 | 无镀膜 |
【使用建议】
- 发散角在 633nm 远场测量；实际角度随波长与准直度略有变化
- 为获得最佳均匀性，入射光束应远大于散射片特征尺寸
- 相干光源使用时会产生散斑
- 请戴手套拿取边缘，避免触碰散射面；可用气吹/氮气清洁，平面侧可用酒精擦拭
技术参数
| 散射片类型 | 折射型（Refractive），带限（bandlimited） |
| 散射图案 | 圆形，平顶（Flat Top） |
| 平坦因子（A） | ≥ 0.70 |
| 发散角（B） | 0.5°±0.05° / 1.0°±0.1° / 5.0°±0.5° / 10.0°±1.0° / 20.0°±2.0° FWHM |
| 工作波段 | 193 – 2000 nm |
| 折射率 | 1.457 @ 633 nm |
| 特征尺寸（C） | 100 μm（典型值） |
| 有效孔径（D） | 中心 23.4 mm |
| 透过效率 | 90%（无镀膜） |
| 材质 | Corning 7980 HPFS 熔融石英 |
| 直径（E） | 25.4 ± 0.1 mm |
| 厚度（F） | 1.0 ± 0.1 mm |
| 安装方式 | 未安装（Unmounted） |
技术数据
石英工程散射片 技术规格