ATLEX 系列风冷准分子激光器（德国 ATL）

【产品概述】

ATLEX 系列短脉冲准分子激光器是德国 ATL Lasertechnik 公司的代表性产品。ATL 于 1993 年创立，专注于紫外相干光源，其 ATLEX 系列基于金属陶瓷反射腔技术，以约几纳秒脉宽产生较高单脉冲能量，并强化了所有高压部件的可靠性，弥补了传统大能量紫外激光器（低频、大能量、几百毫焦）与小型重复充气激光器（高频、微焦）之间的市场空白，可输出 248 nm、193 nm、157 nm 等深紫外波长——这些是半导体泵浦固体激光器无法覆盖的光谱区域。

【核心技术特点】

• 超快预电离技术：约几纳秒脉宽下产生较大单脉冲能量
• 激光腔体 < 3 L，金属陶瓷反射腔（防卤素、防紫外侵蚀铝合金与陶瓷）
• 高压固态开关技术，工作寿命长
• 全风冷，温度控制；系统集成 RS485、RS232 与光纤接口
• 能量稳定模式；集成 4 阀门系统便于气体处理；便于清洗的光学支架
• 欧洲 CE 标准、RoHS 认证
• 矩形光斑均匀性极好，相比高斯光斑更适合材料加工与医学应用

【型号与参数】

【应用领域】

• 微加工：10–20 mJ 短脉冲、兆瓦级峰值功率，适用于快速成型、微电子、生物芯片/聚酯/玻璃/硅片/薄金属/陶瓷加工
• 光纤布拉格光栅（FBG）刻写：193 nm 与 248 nm 短脉冲与各类 FBG 写入工艺兼容
• 光谱学：3–5 ns 短脉冲用于光致电离、高精度 TOF 质谱、LA-ICP/ICP-MS 消融系统
• APLI 大气压力激光离子化：低浓度 PAH 测定、聚合物研究
• 眼科手术：飞行光斑结合不规则投射，治疗近视/远视/散光与角膜不规则

【光路冲洗建议】

UV 激光应用中建议对激光器输出耦合器至惰性气体位置的整条光路进行冲洗，降低氧气、臭氧、水蒸气与加热污染物对深紫外光的吸收，延长暴露光学器件的使用寿命。