皮秒激光微加工系统

一、产品概述

采用皮秒级脉冲激光实现高精度、低热影响的微细加工，属定制化激光加工体系，可按用户需求定制。

二、核心参数

· 脉冲体制：皮秒级脉冲

· 激光器-最大输出功率：35W

· 激光器-频率范围：1Hz-2000KHz

· 激光器-激光波长：355nm

· 激光器-脉宽：≤20ps

· 激光器-脉冲稳定性：<3%

· 激光器-激光源稳定性：<3%

· 加工系统-X/Y加工幅面：200mm×200mm

· 加工系统-重复精度：±1μm

· 加工系统-定位精度：±1.5μm

· 加工系统-Z轴行程：75mm

· 加工系统-光斑圆度：＞90%

· 加工系统-最小线宽：≤3μm

· 加工系统-扫描幅面：50×50mm

· CCD成像-同轴+旁轴CCD：1000万像素点

· CCD成像-成像范围：2mm×3mm（同轴）；6mm×4mm（旁轴）

· CCD成像-加工过程实时监控：支持

· CCD成像-半自动对焦：支持（配合系统软件）

三、典型应用

科研实验；工业应用；系统集成；定制开发。