微纳跨尺度泵浦诱导超快激光超声表征系统

一、产品概述

从飞秒瞬态到封装层析，让微纳结构的声、热、电响应一站式可见。 面向第三代半导体、高密度3D IC、智能压电/MEMS与纳米薄膜研发，集泵浦-探测、原位多场加载、全聚焦成像与智能融合分析于一体。 面向先进微电子器件的非接触、无损、原位超快表征系统。 μPULSE 以脉宽可调超快光纤激光为核心，通过泵浦诱导瞬态光热场和超声响应，读取皮秒至纳秒尺度的电子、热学与声学信息；同时结合阵列采集、全聚焦成像和多源同步分析，实现从纳米薄膜/异质结界面到3D封装结构的跨尺度评价。 模块化系统架构：激发、加载、探测、成像与评价一体化。 激光波长： 1030 nm ± 10 nm；可扩展二倍频/三倍频 515 nm、343 nm 及 1064 nm 激光重频： 单次 - 100 kHz 单脉冲能量： 1 mJ @ 1030 nm 脉宽范围： 250 fs - 30 ps 可选 光束直径： 约 1.5 mm 脉冲能量稳定性： 连续工作4小时，< 1% @ 1064 nm 光束指向稳定性： < 50 μrad 光束质量： TEM00，M² < 1.5 偏振度： > 100:1 检测模式： Pump-Probe、TFM、相控阵/传感器阵列扩展、多源同步锁相分析 产品由尚朴光电提供，具备稳定的性能与可靠的质量，可按客户需求提供选型、定制与技术支持。

二、核心参数

· 单脉冲能量：1 mJ @ 1030 nm

三、典型应用

科研与工业应用；精密测量；OEM 系统集成；技术服务与支持。