激光诱导电流检测系统（LBIC）

一、产品概述

LBIC-1000激光诱导电流检测系统是一种超高分辨、非破坏性、非接触式的半导体光电成像分析系统，适用于太阳电池、硅光电池、钙钛矿电池及半导体光电器件的微区光电响应表征与缺陷检测。

二、检测原理

不同波长的激光在半导体材料中的吸收深度不同，聚焦激光光斑照射样品产生的光生载流子在PN结内电场作用下分离并形成光电流。系统通过逐点扫描并采集光电流强度，映射载流子收集效率、缺陷密度与电阻率分布，可定量表征短路电流、晶界、位错等微区特性；结合横向扫描（Mapping）成像，反映器件各参数的平面均匀性。

图1 多波长激光合束光路原理图

三、系统组成

• 激光源模块：多波长半导体激光器（532/633/785 nm），功率可调；
• 激光合束系统：多波长合束与光电探头功率实时监控；
• 高速振镜扫描单元：微秒级光斑定位，支持光栅式、螺旋式及自定义轨迹扫描；
• 精密运动平台：Z轴动态聚焦，步进电机驱动，定位精度高；
• 探针台与样品台：适配不同规格电池电极，快速更换被测物；
• 信号采集模块：低噪声跨阻放大器放大光电流，16位多通道采集卡同步采集；
• 控制软件平台：LBIC快速扫描软件实现扫描路径规划、数据建模与缺陷识别。

四、技术特点

• 超高分辨、非破坏、非接触式成像检测；
• 多波长扫描，适配硅基、钙钛矿等主流光伏材料；
• 高精度振镜协同控制，微米级定位精度；
• 机器视觉与激光强度检测模块集成，精准识别表面缺陷并同步获取光电响应分布；
• 定制化软件平台实现测试流程自动化、结果可视化，大幅提升检测效率。

五、典型应用

• 太阳电池短路电流分布、并联电阻与表层缺陷检测；
• 钙钛矿电池载流子收集效率与均匀性表征；
• 硅光电器件PN结质量、载流子寿命与表面复合速率分析；
• 半导体材料微区光电响应与量子效率分布评估；
• 光伏产线电池片快速质量检测。

图2 LBIC检测原理示意图

六、服务保障

尚朴光电提供需求分析、系统集成、安装调试、操作培训与售后技术支持的全流程服务，可根据客户测试需求灵活配置。