尚朴光电

气浮精密光学隔振平台

型号:GJ-SLM
气浮精密光学隔振平台
气浮精密光学隔振平台
气浮精密光学隔振平台

产品简介

尚朴光电提供高精度气浮光学隔振平台,为光学实验、激光测量与精密装配提供稳定基础,适用于科研实验室与光学系统集成场景。

GJ-SLM型气浮精密光学隔振平台是依据既要具备气浮平台的隔振性能,又要具有阻尼平台的稳定性的特点,而研制开发的又一款气浮阻尼型精密光学隔振平台, 广泛运用于显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量,激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测 集成电子;对振动要求非常高的仪器设备,该平台特点:具有气浮平台同样的隔振性能与隔振效果、在设计载负的范围内平台的稳定性可与阻尼平台媲美,

应用领域:显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量,激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测集成电子;对振动要求非常高的仪器设备

产品描述

GJ-SLM型气浮精密光学隔振平台是依据既要具备气浮平台的隔振性能,又要具有阻尼平台的稳定性的特点,而研制开发的又一款气浮阻尼型精密光学隔振平台, 广泛运用于显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量,激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测 集成电子;对振动要求非常高的仪器设备,该平台特点:具有气浮平台同样的隔振性能与隔振效果、在设计载负的范围内平台的稳定性可与阻尼平台媲美,

应用领域:显微镜、医疗生物、光路测试、光学测量,激光扫描、激光干涉光谱实验、精密检测集成电子;对振动要求非常高的仪器设备

技术参数

台板尺寸(mm) 900×600

技术数据

固有频率

垂直:1.0~1.8Hz,    水平:1.0~1.5Hz

隔振方式

空气弹簧  

调平方式

手动

阻尼方式

空气垫

平台高度

800mm

工作压力

0.2~0.4MPa

隔振效率

垂直方向固有频率<1.2Hz  隔离度  〉95% 5Hz 90% 10Hz

水平方向固有频率<1.8Hz  隔离度  〉 90% 5Hz 98% 10Hz

台板平面度

≤0.02mm/m²

台板粗糙度

≤0.8μm,表面亚光处理

调节高度

±10mm

3.【技术参数】

1;以平台外形尺寸: 2400*1200*800mm空气垫自平衡精密光学隔振平台

2.平台台体结构:    平台台体整体结构为三层蜂窝夹芯钢结构

3.平台台体厚度:    200mm,

4. 台体台面材质;  1Cr17高导磁不锈钢(也称SUS430不锈钢)

5.台体内部结构:5mm碳钢蜂窝钢结构,防形变热处理工艺和整体框架焊接工艺加工,保证足够的刚性;

6.台体底板材质与厚度:优质中碳厚5mm

7.平台离地高度: 800mm 

8.台面平整度: 0.02-0.05mm/m2 ;

9.台面粗糙度:  0.8微米;                 

10.台面螺孔距: 25*25mm ;

11.孔      径: M6  ;

12.振   幅:    <0.0002um  

13.台体内部结构:  采用5mm厚优质碳钢条压制成合并形成蜂窝钢结构,具有高抗强度最大(变形量)动扰度系数:0.551*10-3

14..防振系统 :   (每个平台配4点支撑空气垫隔振支撑架一套)

                 4点200*200mm方形钢管支撑架上端配置4个GJ-SLM空气垫,一次充气后无需重新充气 (具有水平高稳定性)

15.固有频率:        垂直1.0-1.8Hz、      水平1.0-1.5Hz;

             垂直方向固有频率小于1.2Hz  隔离度  〉95% 5Hz 90% 10Hz

             水平方向固有频率小于1.8Hz  隔离度  〉 90% 5Hz 98% 10Hz