紫外激光能量探头
型号：PEM 10 VUV；PEM 20 VUV 等
产品简介
SLT（德国）制造的紫外激光能量探头（Series PEM VUV）：专为 157nm 及需要搅拌气体或密闭光路导引的波长设计，配备真空法兰并逐只进行泄漏测试。四种型号覆盖 10–30mm 孔径，支持 MgF₂ 窗口或无窗设计，PEM 30 K VUV 最大平均功率达 30W。产品描述
【产品概述】
PEM VUV 系列采用真空法兰特殊设计，适用于 157nm 及所有需要使用搅拌气体或密闭光路导引的波长。探测器逐只进行泄漏测试，确保真空/气体环境下的可靠性。共 4 款型号（PEM 10/20/24 VUV 与 PEM 30 K VUV），孔径 10–30mm，窗口可选 MgF₂ 或无窗。
【核心特性】
（1）真空法兰设计，逐只泄漏测试；
（2）适用于 157nm 等搅拌气体/密闭光路波长；
（3）MgF₂ 窗口或无窗设计可选；
（4）PEM 30 K VUV 最大平均功率 30W；
（5）真空法兰 KF16–KF40 可选。
【典型应用】
157nm 光刻/半导体检测、真空紫外激光能量测量、密闭光路激光监测。
尚朴光电可提供配套软件、接口线缆与系统集成服务，支持数据记录与分析，可按客户测试需求提供定制化配置与技术支持。
技术参数
| 型号 | PEM 10 VUV；PEM 20 VUV；PEM 24 VUV；PEM 30 K VUV |
| 孔径 | 10mm / 20mm / 24mm / 30mm |
| 灵敏度（1MΩ） | 30-50 V/J / 15-25 V/J / 200 V/J / 1.5-2.5 V/J |
| 重复率 | 50Hz / 150Hz / 300Hz / 50Hz |
| 最大平均功率 | 5W / 5W / 5W / 30W |
| 精度 | ±5% |
| 最大能量密度（τ=10ns） | 50 mJ/cm² / 50 mJ/cm² / 100 mJ/cm² / 300 mJ/cm² |
| 最大峰值功率密度 | 5 MW/cm² / 5 MW/cm² / 5 MW/cm² / 30 MW/cm² |
| 探测阈值 | 100µJ / 200µJ / 5µJ / 1mJ |
| 窗口 | MgF₂ / MgF₂ / 无窗 / 无窗 |
| 接口 | SMA / SMA / BNC / BNC |
| 真空法兰 | KF16 ND / KF25 ND / KF25 ND / KF40 ND |
| 外形尺寸 | Ø30mm / Ø42mm / Ø55mm / Ø100mm |
技术数据
PEM VUV 系列设备实拍与规格表
数据来源：SLT Sensor- und Lasertechnik GmbH 产品目录（Made in Germany）